WAT是什麼意思?WAT是什麼的縮寫?

 

 WAT 

⚫ 英文意義


▶ Wafer Acceptance Test

▶ Wafer Accept Test

 

⚫ 中文意義


▶ 晶圓可接受度測試

▶ 晶圓參數測試

 

⚫ 執行方法


▶WAT 通常是晶圓廠用來驗證製程的一個測試。是測試擺在晶圓切割道(Scribe Line)上的測試鍵(Testkey)。主要為量測基本的電性參數。測試內容包括NMOS元件、PMOS元件、電阻、接觸電阻、內部連接的測試結構、電容、BJT、規則檢查、可靠度圖樣等。

 

⚫ 執行目的


 為晶圓出廠前的最後一道防線。主要目的是模擬客戶的電路,及監控晶圓廠製程式穩定度,用以提升產品的良率。

 

 

 


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